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中央真空泵系统:出厂时已经包括了抽速控制,进气过滤,主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等,只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可组成一个完整的真空系统,该真空系统的控制系统由PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工作行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。系统优点:
1、降低厂内噪音
2、避免浪费电能
3、节省客户组装的烦恼和时间
4、灵活安装,减少对厂商的影响
5、便捷的操作,易于掌握
6、极高的运作性能和可靠性
启动系统,主真空泵组开始工作,直到真空罐内真空度达到设定的上限值,真空泵自动停止运行,中央真空系统内的真空由管路程上的直倥止回阀自动截止而得到维持,如因工作需求真空罐内真空度下降并低于设定的下限值时,备用真空泵组自动启动,由此循环往复,真空系统的真空度能够维持稳定的真空源,满足生产要求。
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大型真空机组系统
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