处理系统

真空泵系统

真空泵是利用机械、物理、化学、物理化学等方法对容器进行抽气，以获得和维持真空的装置的气体输送机械，它把气体从低于个大气压的环境中输送到大气中或与大气压力相同的环境中。真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，从而使设备内的压力低于个大气压的机器，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的极高真空范围。

真空机组系统

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真空腔体

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